초록 ▼

반도체 제조 등에 사용되는 가스저장 실린더의 히팅을 위해 장착하는 실린더히터에 관한 발명이다. 이 실린더히터는 실린더의 원주를 감쌀 수 있는 연성 재질의 면상 발열체(20), 면상 발열체(20)의 제1변과 제2변에 부착된 경성 재질의 제1, 제2라이너(30, 40), 제1, 2라이너(30, 40)에 연결된 제1, 2연결링(32, 42), 제2연결링(42)에 연결된 제1연결밴드(50), 제1연결밴드(50)가 삽입되는 캠버클(52), 캠버클(52)에 연결되는 제2연결밴드(56), 제2연결밴드(56)의 종단에 연결된 훅플레이트(58)를

반도체 제조 등에 사용되는 가스저장 실린더의 히팅을 위해 장착하는 실린더히터에 관한 발명이다. 이 실린더히터는 실린더의 원주를 감쌀 수 있는 연성 재질의 면상 발열체(20), 면상 발열체(20)의 제1변과 제2변에 부착된 경성 재질의 제1, 제2라이너(30, 40), 제1, 2라이너(30, 40)에 연결된 제1, 2연결링(32, 42), 제2연결링(42)에 연결된 제1연결밴드(50), 제1연결밴드(50)가 삽입되는 캠버클(52), 캠버클(52)에 연결되는 제2연결밴드(56), 제2연결밴드(56)의 종단에 연결된 훅플레이트(58)를 포함한다. 암버클과 수버클로 구성된 종래의 히터 장착 구조와 달리, 하나의 캠버클만 사용되고 작업자는 단지 제1연결밴드의 일부분을 당기기만 하면 간편하게 실린더히터를 실린더에 장착할 수 있게 된다. 또한, 면상 발열체의 양변을 따라서 부착되어 있는 경성재질의 라이너에 의해서 연결밴드가 부착된 곳과 그렇지 않은 곳 사이가 실린더 표면에서 뜨지 않고 모든 변이 전체적으로 실린더 밀착되어 균일한 히팅이 가능해진다.

대표청구항 ▼

실린더의 외부 표면을 감싸도록 장착되어 실린더를 히팅하는 면상 발열체(20); 면상 발열체를 실린더에 감싼 후에 실린더의 표면 상에서 마주보게 되는 면상 발열체의 두 변 중 제1변을 따라 부착되며, 제1연결링(32)이 연결되는 제1라이너(30); 상기 면상 발열체를 실린더에 감싼 후에 실린더의 표면 상에서 마주보게 되는 면상 발열체의 두 변 중 제2변을 따라 부착되며, 제2연결링(42)이 연결되는 제2라이너(40);일단이 상기 제2라이너의 제2연결링에 연결되는 제1연결밴드(50); 상기 제1연결밴드의 타단이 삽입되며 삽입된 제1연결

실린더의 외부 표면을 감싸도록 장착되어 실린더를 히팅하는 면상 발열체(20); 면상 발열체를 실린더에 감싼 후에 실린더의 표면 상에서 마주보게 되는 면상 발열체의 두 변 중 제1변을 따라 부착되며, 제1연결링(32)이 연결되는 제1라이너(30); 상기 면상 발열체를 실린더에 감싼 후에 실린더의 표면 상에서 마주보게 되는 면상 발열체의 두 변 중 제2변을 따라 부착되며, 제2연결링(42)이 연결되는 제2라이너(40);일단이 상기 제2라이너의 제2연결링에 연결되는 제1연결밴드(50); 상기 제1연결밴드의 타단이 삽입되며 삽입된 제1연결밴드를 탄성력에 의해 눌러서 고정하는 고정편(53)이 포함된 고정구와, 단순 삽입공인 관통구를 포함하는 캠버클(52); 및일단이 상기 캠버클의 관통구에 삽입되어 연결되고 타단에는 절곡부를 갖는 훅플레이트(58)가 연결된 제2연결밴드(56)를 포함하되,상기 제2연결밴드의 타단에 연결된 훅플레이트의 절곡부를 상기 제1라이너의 제1연결링에 연결하고 상기 캠버클의 고정구에 삽입된 제1연결밴드가 고정편(53)에 의해 고정되는 부분 이외에 고정구에서 빠져 나온 일부분인 제1연결밴드 당김부분(54)을 잡아당길 때 상기 면상 발열체가 상기 실린더에 밀착되어 장착되고, 상기 고정편(53)이 상기 제1연결밴드를 누르는 탄성력을 해제시킬 때에 상기 면상 발열체가 상기 실린더로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 실린더히터.