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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0178640 (2017-12-22) | |
공개번호 | 10-2019-0076662 (2019-07-02) | |
등록번호 | 10-2006886-0000 (2019-07-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170178640 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-12-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 복수기 성능 관리 장치 및 방법으로서, 복수기 성능 관리 장치는 수집된 복수기 진공도 관련인자를 이용하여 상기 복수기 진공도 예측 모델을 생성하는 진공도 예측 모델 생성부; 및 상기 진공도 예측 모델에 기초하여 산출된 진공도 최적값과 실시간 측정 진공도의 차이값을 이용하여 진공도 상승 가능량을 산출하는 진공도 상승 가능량 산출부를 포함하고, 복수기 성능 관리 방법은 수집된 복수기 진공도 관련인자를 이용하여 상기 복수기 진공도 예측 모델을 생성하는 단계; 및 상기 진공도 예측 모델에 기초하여 산출된 진공도 최적값과 실시간
수집된 복수기 진공도 관련인자를 이용하여 복수기 진공도 예측 모델을 생성하는 진공도 예측 모델 생성부; 상기 진공도 예측 모델에 기초하여 산출된 진공도 최적값과 실시간 측정 진공도의 차이값을 이용하여 진공도 상승 가능량을 산출하는 진공도 상승 가능량 산출부;상기 복수기 진공도 관련인자 및 상기 실시간 측정 진공도를 수집하는 데이터 수집부; 및상기 진공도 최적값을 산출하는 진공도 최적값 산출부를 포함하고,상기 진공도 최적값은 상기 진공도 예측 모델을 이용하여 산출되는 진공도 값 중 가장 낮은 값인 복수기 성능 관리 장치.
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