초록 ▼

본 발명은 입자 회수 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도입부를 통해 유입되는 입자가 분산된 상태로 회수되어 SIMS 분석의 측정 정확도 및 정밀도가 향상되고, 입자가 분산되어도 회수부를 벗어나지 않도록 차단하므로 입자의 회수율이 향상되는 입자 회수 장치에 관한 것이다. 이를 위해 중공 형상의 몸체부와, 상기 몸체부 일측에 배치되며, 입자가 유입되는 도입부와, 상기 몸체부 타측에 배치되며, 상기 몸체부 내부에 진공이 형성되도록 진공원과 연통되는 배출부와, 상기 몸체부 내부에 구비되며, 상기 도입부를 통해 유입되는 입자가 부착되어

본 발명은 입자 회수 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도입부를 통해 유입되는 입자가 분산된 상태로 회수되어 SIMS 분석의 측정 정확도 및 정밀도가 향상되고, 입자가 분산되어도 회수부를 벗어나지 않도록 차단하므로 입자의 회수율이 향상되는 입자 회수 장치에 관한 것이다. 이를 위해 중공 형상의 몸체부와, 상기 몸체부 일측에 배치되며, 입자가 유입되는 도입부와, 상기 몸체부 타측에 배치되며, 상기 몸체부 내부에 진공이 형성되도록 진공원과 연통되는 배출부와, 상기 몸체부 내부에 구비되며, 상기 도입부를 통해 유입되는 입자가 부착되어 회수되는 회수부 및 상기 도입부 내부에 구비되며, 유입된 입자가 상기 회수부의 반경 외측 방향으로 분산되도록 안내하는 가이드 부재를 포함하는 입자 회수 장치를 제공한다.

대표청구항 ▼

중공 형상의 몸체부;상기 몸체부 일측에 배치되며, 입자가 유입되는 도입부;상기 몸체부 타측에 배치되며, 상기 몸체부 내부에 진공이 형성되도록 진공원과 연통되는 배출부;상기 몸체부 내부에 구비되며, 상기 도입부를 통해 유입되는 입자가 부착되어 회수되는 회수부; 및상기 도입부 내부에 구비되며, 유입된 입자가 상기 회수부의 반경 외측 방향으로 분산되도록 안내하는 가이드 부재;를 포함하며,상기 가이드 부재에 형성된 내주면의 출구 내경은 입구 내경보다 크게 형성되되,상기 내주면의 내경은 상기 가이드 부재의 입구에서 출구를 향하는 방향을 따라

중공 형상의 몸체부;상기 몸체부 일측에 배치되며, 입자가 유입되는 도입부;상기 몸체부 타측에 배치되며, 상기 몸체부 내부에 진공이 형성되도록 진공원과 연통되는 배출부;상기 몸체부 내부에 구비되며, 상기 도입부를 통해 유입되는 입자가 부착되어 회수되는 회수부; 및상기 도입부 내부에 구비되며, 유입된 입자가 상기 회수부의 반경 외측 방향으로 분산되도록 안내하는 가이드 부재;를 포함하며,상기 가이드 부재에 형성된 내주면의 출구 내경은 입구 내경보다 크게 형성되되,상기 내주면의 내경은 상기 가이드 부재의 입구에서 출구를 향하는 방향을 따라 연속적으로 증가하도록 형성되되,상기 도입부에는 상기 가이드 부재의 후단에 배치되어 분산된 입자가 상기 회수부를 벗어나는 것을 방지하는 차단 부재를 더 포함하며,상기 차단 부재의 입구에는 상기 차단 부재의 입구 내경이 상기 가이드 부재의 출구 내경보다 크게 형성되도록 단차가 형성되고,상기 차단 부재의 출구 내경은 입구 내경보다 크게 형성되되, 상기 회수부의 직경보다는 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 입자 회수 장치.