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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0032192 (2018-03-20) | |
등록번호 | 10-2007004-0000 (2019-07-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180032192 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-03-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 3차원 형상 측정장치에 관한 것이다.선형 편광판은 스윕 광원으로부터 출사된 광을 편광 빔 스플리터의 주축에 대해 45도 편광된 직선편광으로 변환하여 편광 빔 스플리터로 전달한다.제1,2 쿼터 파장판은 편광 빔 스플리터에 의해 분리된 수평편광과 수직편광을 어느 한쪽 방향 회전의 제1 원편광과 반대쪽 방향 회전의 제2 원편광으로 변환하여 기준 미러와 측정대상물로 각각 입사시키며, 기준 미러와 측정대상물로부터 반사된 제1,2 원편광을 직선편광으로 각각 변환하여 편광 빔 스플리터로 전달한다.제3 쿼터 파장판은 편광 빔 스플리터로
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