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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0063746 (2018-06-01) | |
| 공개번호 | 10-2019-0137498 (2019-12-11) | |
| 등록번호 | 10-2530447-0000 (2023-05-03) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180063746 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-05-25) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체 공정에서 발생하는 유해 물질을 제거하기 위한 장치로서,고주파를 인가하여 발생하는 열을 이용하여 상기 반도체 공정에서 발생하는 폐가스를 제거하는 고주파 유도 가열기, 및 상기 고주파 유도 가열기에서 생성된 유해 가스를 제거하기 위한 촉매반응기를 포함하고,상기 고주파 유도 가열기는,상기 고주파 유도 가열기의 외피를 구성하는 가열기 본체;상기 가열기 본체의 내측면에 위치하는 원기둥 형태의 내화제;나선형 구조로 이루어지고 상기 내화제와 중첩되어 일체의 형상으로 이루어지는 유도 코일; 및상기 가열기 본체의 길이 방향과 평행
반도체 공정에서 발생하는 유해 물질을 제거하기 위한 장치로서,고주파를 인가하여 발생하는 열을 이용하여 상기 반도체 공정에서 발생하는 폐가스를 제거하는 고주파 유도 가열기, 및 상기 고주파 유도 가열기에서 생성된 유해 가스를 제거하기 위한 촉매반응기를 포함하고,상기 고주파 유도 가열기는,상기 고주파 유도 가열기의 외피를 구성하는 가열기 본체;상기 가열기 본체의 내측면에 위치하는 원기둥 형태의 내화제;나선형 구조로 이루어지고 상기 내화제와 중첩되어 일체의 형상으로 이루어지는 유도 코일; 및상기 가열기 본체의 길이 방향과 평행하도록 배치
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