초록

클린룸 공조 시스템 및 클린룸용 시스템 실링이 개시된다. 개시된 클린룸 공조 시스템은 클린룸의 천장부에 배치되어 클린룸의 내부와 상부를 구획하고 선택 배치된 공조 설비 등을 통해 상기 클린룸 내부로 공기를 공급하도록 구성된 시스템 실링 및 상기 클린룸의 주변부에 배치되어 상기 클림룸의 하부에서 배출된 공기를 상기 시스템 실링 상부로 이송하도록 구성된 수직풍도를 포함하고, 상기 수직풍도에서 배출된 공기가 상기 시스템 실링 상부로 유입될 때 90°이상의 각도로 방향 전환 되도록 구성된다.

대표청구항 ▼

수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체; 및 상기 제1 그리드 집합체에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 개구의 형상, 개구의 크기 및 조인트의 구조 중 적어도 하나가 다른 3종 이상의 그리드를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체는 1종 이상의 직각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체는 제1 그리드 및 제2 그리드

수평방향으로 배치된 제1 그리드 집합체; 및 상기 제1 그리드 집합체에 경사지게 결합된 제2 그리드 집합체를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체 및 상기 제2 그리드 집합체는 각각 서로 독립적으로 개구의 형상, 개구의 크기 및 조인트의 구조 중 적어도 하나가 다른 3종 이상의 그리드를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체는 1종 이상의 직각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 티 조인트, 1종 이상의 둔각 크로스 조인트, 1종 이상의 직각 몰드바 및 1종 이상의 둔각 몰드바를 포함하고,상기 제1 그리드 집합체는 제1 그리드 및 제2 그리드를 포함하고, 상기 제1 그리드는 제1 둔각 몰드바, 제1 둔각 크로스 조인트, 제1 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제1 직각 몰드바 및 또 다른 제1 둔각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,상기 제2 그리드는 제2 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 제3 직각 몰드바, 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제2 직각 몰드바, 또 다른 제1 직각 크로스 조인트, 또 다른 제3 직각 몰드바 및 또 다른 제1 직각 크로스 조인트가 이 순서대로 연결되어 결합된 사각형 형상이고,상기 제1 그리드 및 상기 제2 그리드는 상기 제2 직각 몰드바들 중 1개 및 상기 제1 직각 크로스 조인트들 중 2개를 서로 공유하는 클린룸용 시스템 실링.