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[한국특허] 불소 도핑된 산화주석 투명전극 및 이의 제조방법
FLUORINE-DOPED TIN OXIDE TRANSPARENT CONDUCTING ELECTRODES AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01B-005/14
  • C23C-018/04
  • C23C-018/12
  • H01B-013/00
  • H01L-031/0224
출원번호 10-2018-0064136 (2018-06-04)
공개번호 10-2019-0138051 (2019-12-12)
등록번호 10-2077393-0000 (2020-02-07)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180064136
발명자 / 주소
  • 안효진 / 서울특별시 노원구 노원로 **, ***동 ***호 (효성화운트빌)
  • 구본율 / 경기도 오산시 대원로 **, ***동 ***호 (운암아파트)
  • 배주원 / 서울특별시 중랑구 봉화산로**길 **, ***동 ***호 (우남푸르미아아파트)
출원인 / 주소
  • 서울과학기술대학교 산학협력단 / 서울특별시 노원구 공릉로 *** (공릉동, 서울과학기술대학교)
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2018-06-04)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명은, 불소 도핑된 산화주석 투명전극 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막; 을 포함하고, 상기 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막은, 연소 활성제로 활성화된 것인, 투명전극 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

대표청구항

불소 도핑된 산화주석(FTO) 막;을 포함하고,상기 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막은, 연소 활성제로 활성화되고,상기 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막은, 초음파 분무 열분해로 형성되고,상기 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막은, (200)면이 우선 배향되고, 상기 불소 도핑된 산화주석(FTO) 막은, (200) 면/(110) 면의 강도비가 3 이상이고,상기 연소 활성제는, 금속 나이트레이트(metal nitrate), 암모늄나이트레이트(ammonium nitrate), 나이트레이트 하이드레이트(nitrate hydrate) 및 나

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 주석 산화물 박막의 제조방법 | 고석근, 정형진, 송석균, 최원국, 최동수, 전진석
  2. [한국] 불소가 도핑된 저저항 고투과율의 산화주석 박막 및 그 제조방법 | 송철규
  3. [한국] 금속 산화물 박막 및 나노물질-유도되는 금속 복합체 박막의 저온 제조 방법 | 파체티 안토니오, 마크스 토빈 제이, 카나트지디스 머쿠리 쥐, 김명길, 시츠 윌리암 크리스토퍼, 얀 헤, 시아 유

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