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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0088952 (2018-07-31) | |
공개번호 | 10-2020-0013844 (2020-02-10) | |
등록번호 | 10-2094127-0000 (2020-03-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180088952 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-07-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 딥코팅 장치에 관한 것이다. 딥코팅 장치는 나노물질을 포함하는 분산액이 저장되는 용액조, 상기 용액조 상에 설치되고, 상기 분산액에 기판을 제공하는 기판 제공부, 상기 기판 제공부에 설치되고, 상기 기판의 온도를 조절하는 제1 온도 조절부, 상기 용액조에 설치되고, 상기 분산액의 온도를 조절하는 제2 온도 조절부, 및 상기 기판 제공부와 연결되고, 상기 분산액으로부터 상기 기판이 이탈되는 속도를 조절하는 속도 조절부를 포함하되, 상기 기판 상에 코팅되는 상기 나노물질의 두께 및 상기 분산액의 증발량을 조절하여 상기 기판
나노물질을 포함하는 분산액이 저장되는 용액조;상기 용액조 상에 설치되고, 상기 분산액에 기판을 제공하는 기판 제공부;상기 기판 제공부에 설치되고, 상기 기판의 온도를 조절하는 제1 온도 조절부;상기 용액조에 설치되고, 상기 분산액의 온도를 조절하는 제2 온도 조절부; 및상기 기판 제공부와 연결되고, 상기 분산액으로부터 상기 기판이 이탈되는 속도를 조절하는 속도 조절부를 포함하되,상기 기판 상에 코팅되는 상기 나노물질의 두께 및 상기 분산액의 증발량을 조절하여 상기 기판 상에 상기 나노물질을 정렬시켜 코팅하고,평판 형상을 갖는 상기
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