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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0102607 (2018-08-30) | |
공개번호 | 10-2019-0024823 (2019-03-08) | |
등록번호 | 10-2553413-0000 (2023-07-05) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/691,241 (2017-08-30);미국(US) 62/607,070 (2017-12-18);미국(US) 62/619,579 (2018-01-19);미국(US) 16/105,745 (2018-08-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180102607 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
주기적 증착 공정에 의해 기판의 유전체 재료 표면 상에 직접 몰리브덴 금속막을 증착하는 방법이 개시된다. 상기 방법은 유전체 표면을 포함하는 기판을 반응 챔버에 제공하는 단계; 및 상기 유전체 표면 상에 직접 몰리브덴 금속막을 증착시키는 단계를 포함하되, 상기 증착 단계는 상기 기판을 몰리브덴할라이드 전구체를 포함하는 제1 기상 반응물과 접촉시키는 단계; 및 상기 기판을 환원제 전구체를 포함하는 제2 기상 반응물과 접촉시키는 단계를 포함할 수 있다. 본 개시의 상기 방법에 따라 증착된 유전체 표면 상에 직접 배치된 몰리브덴 금속막을
주기적 증착 공정에 의해 기판의 유전체 재료 표면 상에 직접 몰리브덴 금속막을 증착하는 방법으로서, 유전체 표면을 포함하는 기판을 반응 챔버에 제공하는 단계; 및하나 이상의 증착 사이클을 이용하여 상기 유전체 표면 상에 직접 몰리브덴 금속막을 증착하는 단계로서, 각각의 증착 사이클은상기 기판을 몰리브덴할라이드 전구체를 포함하는 제1 기상 반응물의 펄스와 접촉시키는 것; 및상기 기판을 환원제 전구체를 포함하는 제2 기상 반응물과 접촉시키는 것을 포함하고, 상기 제 2 기상 반응물은 하나 이상의 증착 사이클을 통해 상기 기판과 연속적으
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