[특허]다공성 폴리우레탄 연마패드 및 이의 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	B24D-003/32 B24D-018/00 C08J-009/00 C08J-009/04 C08L-075/04
출원번호	10-2018-0107778 (2018-09-10)
공개번호	10-2019-0029473 (2019-03-20)
등록번호	10-2088919-0000 (2020-03-09)
우선권정보	대한민국(KR) 1020170116069 (2017-09-11)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180107778
발명자 / 주소	서장원 / 부산광역시 해운대구 센텀중앙로 *, 동 **호(재송동, 더샵센텀파크차아파트) 류준성 / 경기도 화성시 메타폴리스로 , 동 *호(반송동, 동탄시범다은마을 롯데대동다숲캐슬아파트) 허혜영 / 경기도 용인시 수지구 광교마을로 , **동 호(상현동, 광교상록자이아파트) 한혁희 / 경기도 성남시 분당구 중앙공원로 , *동 호(서현동, 시범단지우성아파트) 권영필 / 경기도 용인시 처인구 금학로번길 , 동 ***호(삼가동, 늘푸른맨숀)
출원인 / 주소	에스케이씨 주식회사 / 경기도 수원시 장안구 장안로*번길 (정자동)
대리인 / 주소	제일특허법인(유)
심사청구여부	있음 (2018-09-10)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

구현예는 반도체의 화학적 기계적 평탄화(chemical mechanical planarization, CMP) 공정에 사용되는 다공성 폴리우레탄 연마패드 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 상기 다공성 폴리우레탄 연마패드는 고상 발포제인 열팽창된 마이크로 캡슐 및 기상 발포제인 불활성 기체를 사용하여 기공의 크기 및 분포를 조절함으로써, 연마성능을 조절할 수 있다.

대표청구항 ▼

폴리우레탄 수지 및 상기 폴리우레탄 수지 내에 분산된 포어(pore)들을 포함하고,포어의 입경을 X축으로 하고 각 입경에 해당하는 포어들의 단면적의 합을 Y축으로 하는 포어의 입경별 단면적의 합의 분포도에서, Y축의 최대 피크를 나타내는 포어의 입경이 50 ㎛ 내지 65 ㎛이며, 상기 최대 피크의 포어 입경보다 더 작은 입경을 갖는 포어들의 단면적의 합이 상기 최대 피크의 포어 입경보다 5 ㎛ 이상 더 큰 입경을 갖는 포어들의 단면적의 합보다 더 크고,상기 최대 피크의 포어 입경보다 더 작은 입경을 갖는 포어들의 단면적의 합과 상기

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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