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연합인증

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[한국특허] 열처리 장치
HEAT TREATMENT APPARATUS
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • H01L-021/677
출원번호 10-2018-0114394 (2018-09-21)
공개번호 10-2020-0034512 (2020-03-31)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180114394
발명자 / 주소
  • 김동연 / 경기도 안성시 대덕면 서동대로 ****, ***동 ***호 (롯데캐슬 센트럴시티)
  • 한연수 / 경기도 수원시 영통구 삼성로***번길 *, *동 ***호 (원천동, 원천*차삼성아파트)
  • 박성우 / 경기도 수원시 권선구 서부로****번길 **, ***호 (고색동)
출원인 / 주소
  • (주) 예스티 / 경기도 평택시 진위면 삼남로 ***
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2018-09-21)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

일 실시예에 따른 열처리 장치는, 전체 외관을 구성하는 프레임부, 상기 프레임부의 상하면 및 양측면에 조립되는 판넬부, 및 상기 프레임부의 후면을 개방 또는 폐쇄시키는 도어부를 포함하는 챔버 유닛; 상기 챔버 유닛의 전면을 개방 또는 폐쇄시키는 셔터 유닛; 및 상기 챔버 유닛 및 상기 셔터 유닛에 구비되어, 상기 챔버 유닛 내에 배치된 열처리 대상을 가열하는 히팅 유닛;을 포함하고, 상기 히팅 유닛은 상기 챔버 유닛 또는 상기 셔터 유닛에 조립되는 복수 개의 가열부를 포함하고, 각각의 가열부는 서로 조립 또는 분해 가능한 복수 개의

대표청구항

전체 외관을 구성하는 프레임부, 상기 프레임부의 상하면 및 양측면에 조립되는 판넬부, 및 상기 프레임부의 후면을 개방 또는 폐쇄시키는 도어부를 포함하는 챔버 유닛;상기 챔버 유닛의 전면을 개방 또는 폐쇄시키는 셔터 유닛; 및상기 챔버 유닛 및 상기 셔터 유닛에 구비되어, 상기 챔버 유닛 내에 배치된 열처리 대상을 가열하는 히팅 유닛;을 포함하고,상기 히팅 유닛은 상기 챔버 유닛 또는 상기 셔터 유닛에 조립되는 복수 개의 가열부를 포함하고, 각각의 가열부는 서로 조립 또는 분해 가능한 복수 개의 히팅 모듈을 포함하는 열처리 장치.

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [일본] STRUCTURE FOR MOUNTING PANEL | NAGANO SADATAKA
  2. [한국] 기판 온도 측정 및 제어 시스템을 구비한 기판 열처리 챔버, 장치 및 방법 | 권종석, 문진수
  3. [한국] 기판처리장치 | 오영택, 이재승, 이병일, 조상현
  4. [한국] 내열 성능이 향상된 커넥터를 포함하는 열처리장치 | 박상선, 김민형, 정우열
  5. [한국] 기판의 열처리 장치 | 이주형, 이승훈, 모성원, 기범수, 이현재

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