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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0120432 (2018-10-10) | |
공개번호 | 10-2020-0040473 (2020-04-20) | |
등록번호 | 10-2254376-0000 (2021-05-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180120432 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-10-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 마스크의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 마스크의 제조 방법은, 전주 도금(Electroforming)으로 마스크(100)를 제조하는 방법으로서, (a) 전도성 기재(21)를 제공하는 단계, (b) 전도성 기재(21)를 음극체(Cathode Body)로 사용하고, 전주 도금(Electroforming)으로 전도성 기재(21)의 적어도 일면 상에 도금막(100)을 형성하는 단계, 및 (c) 도금막(100)을 열처리(H)하는 단계를 포함하고, (c) 단계에서, 전도성 기재(21)의 적어도 일부를 압착(F)하여 전도성
전주 도금(Electroforming)으로 마스크를 제조하는 방법으로서,(a) 전도성 기재를 준비하는 단계;(b) 전도성 기재를 음극체(Cathode Body)로 사용하고, 전주 도금(Electroforming)으로 전도성 기재의 상부면, 측면 및 적어도 하부면의 일부 상에 도금막을 형성하는 단계; 및(c) 도금막을 열처리하는 단계를 포함하고,(b) 단계에서, 전도성 기재의 상부면, 측면 및 적어도 하부면의 일부 상에 일체화되어 연결된 도금막을 형성하여 전도성 기재와 도금막의 접착 면적을 증가시키고,(c) 단계에서, 전도성 기재의
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