초록

이미다졸 화합물을 포함하는 구리 전기도금 조성물은 기판에서 균일한 형태를 갖는 구리의 전기도금을 가능하게 한다. 조성물 및 방법은 포토레지스트 정의된 특징부의 구리 전기도금을 가능하게 한다. 그와 같은 특징부는 필라, 결합 패드 및 라인 스페이스 특징부를 포함한다.

대표청구항 ▼

구리 설페이트, 구리 할라이드, 구리 아세테이트, 구리 니트레이트, 구리 테트라플루오로보레이트, 구리 알킬설포네이트, 구리 아릴 설포네이트, 구리 설파메이트, 구리 퍼클로레이트 및 구리 글루코네이트로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 구리 이온 공급원;황산, 아세트산, 플루오로붕산, 알칸설폰산, 아릴 설폰산, 설팜산, 염산, 브롬화수소산, 과염소산, 질산, 크롬산 및 인산으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 전해질;N,N-디메틸-디티오카밤산-(3-설포프로필)에스테르, 3-메르캅토-프로필설폰산-(3-설포프로필)에스테르, 3-

구리 설페이트, 구리 할라이드, 구리 아세테이트, 구리 니트레이트, 구리 테트라플루오로보레이트, 구리 알킬설포네이트, 구리 아릴 설포네이트, 구리 설파메이트, 구리 퍼클로레이트 및 구리 글루코네이트로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 구리 이온 공급원;황산, 아세트산, 플루오로붕산, 알칸설폰산, 아릴 설폰산, 설팜산, 염산, 브롬화수소산, 과염소산, 질산, 크롬산 및 인산으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 전해질;N,N-디메틸-디티오카밤산-(3-설포프로필)에스테르, 3-메르캅토-프로필설폰산-(3-설포프로필)에스테르, 3-메르캅토-프로필설폰산 나트륨 염, 3-메르캅토-1-프로판 설폰산 칼륨 염을 가진 카본산-디티오-O-에틸에스테르-S-에스테르, 비스-설포프로필 디설파이드, 비스-(나트륨 설포프로필)-디설파이드, 3-(벤조티아졸릴-S-티오)프로필 설폰산 나트륨 염, 피리디늄 프로필 설포베타인, 1-나트륨-3-메르캅토프로판-1-설포네이트, N,N-디메틸-디티오카밤산-(3-설포에틸)에스테르, 3-메르캅토-에틸 프로필설폰산-(3-설포에틸)에스테르, 3-메르캅토-에틸설폰산 나트륨 염, 3-메르캅토-1-에탄 설폰산 칼륨 염을 가진 카본산-디티오-O-에틸에스테르-S-에스테르, 비스-설포에틸 디설파이드, 3-(벤조티아졸릴-S-티오)에틸 설폰산 나트륨 염, 피리디늄 에틸 설포베타인, 및 1-나트륨-3-메르캅토에탄-1-설포네이트로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 가속제;폴리프로필렌 글리콜 코폴리머, 폴리에틸렌 글리콜 코폴리머, 에틸렌 옥사이드-프로필렌 옥사이드 코폴리머 및 부틸 알코올-에틸렌 옥사이드-프로필렌 옥사이드 코폴리머로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 억제제; 및하기 식 (I)을 갖는 이미다졸 화합물;을 포함하는,구리 전기도금 조성물:식 중, R1, R2, R3 및 R4는 메틸이고; R5 및 R6은 수소이다.