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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0134871 (2018-11-06) | |
공개번호 | 10-2019-0052629 (2019-05-16) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/583,251 (2017-11-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180134871 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-22) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
<111> 결정 면 방향에서 인접한 결정립 사이에 일정한 결정립 방위차를 갖는 전기도금된 구리 금속은 개선된 특성의 구리를 제공한다. 유전체 기판을 포함하는 기판 상에 구리 금속을 전기도금하는 방법이 또한 개시된다.
<111>의 결정 면 방향에 대해 55° 내지 65°의 방위차(misorientation) 각을 갖는 인접한 구리 결정립 사이의 결정립 경계의 30% 이상의 쌍정 분율(twin fraction)을 포함하는, 구리 금속.
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