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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0163574 (2018-12-17) | |
공개번호 | 10-2019-0074235 (2019-06-27) | |
등록번호 | 10-2524079-0000 (2023-04-17) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-242799 (2017-12-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180163574 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-07-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
벨로우즈부의 골부 근방에 액체가 체류되어 불순물 등의 파티클이 축적되는 문제를 억제한다. 밸브체부(20)와, 밸브체부(20)에 연결되는 다이어프램부를 구비하고, 다이어프램부는, 기초부(51)와, 선단부(52)와, 기초부(51)와 선단부(52)를 연결하는 벨로우즈부(53)를 갖고, 선단부(52)의 액체와 접촉하는 접액부(52a)는, 축선(X)을 따라 연장되는 원통 형상으로 형성되어 있고, 벨로우즈부(53)의 하단부(53d)는, 접액부(52a)의 외주면과 일치하는 접속 위치(CP)에서 접액부(52a)에 접속되고, 벨로우즈부(53)의 골
액체가 유입되는 유입 유로와 액체가 유출되는 유출 유로와 상기 유입 유로로부터 상기 유출 유로로 액체를 유도하는 밸브 구멍이 내부에 형성된 하우징부와,상기 밸브 구멍 주위에 배치되는 밸브 시트부에 접촉 또는 이격됨으로써 상기 밸브 구멍을 폐쇄 상태 또는 개방 상태로 하는 밸브체부와,상기 밸브체부에 연결되는 다이어프램부를 구비하고,상기 다이어프램부는,기초부와,상기 밸브체부에 연결됨과 함께 상기 밸브 구멍에 삽입되는 선단부와,상기 기초부와 상기 선단부를 연결함과 함께 산부에 인접하여 골부가 형성된 벨로우즈부를 갖고,상기 선단부의 액체와
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