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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0170320 (2018-12-27) | |
공개번호 | 10-2020-0080654 (2020-07-07) | |
등록번호 | 10-2156840-0000 (2020-09-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180170320 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-12-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 밀폐된 메인룸 내에서 생산설비가 있는 국부 지역만을 또 다른 드라이룸으로 구획하고, 상기 국부 드라이룸을 효율적으로 운영할 수 있게 하는 국부 드라이룸 시스템에 관한 것이다.특히, 본 발명은 국부 드라이룸의 도어 개폐시에도 에어락을 이용하여 외부의 수분이 유입되지 않도록 하고, 국부 드라이룸 내 작업자가 착용 가능한 작업자용 제습장치를 제공하는 국부 드라이룸 시스템에 관한 것이다.
외부로부터 밀폐된 메인룸(110)과;상기 메인룸(110) 내부에 공기를 공급하는 메인 공조기(120)와;상기 메인룸(110) 내부 전체 중 일정 구역에 설치되며, 실내가 설정된 노점 이하로 유지되도록 밀폐된 국부 드라이룸(130)과;상기 메인룸(110)의 공기에 포함된 습기를 제거한 후 상기 국부 드라이룸(130) 내부로 공급하는 저노점 제습기(140)와;상기 국부 드라이룸(130)의 출입구에 설치되며, 내측 도어(151) 및 외측 도어(152)를 포함하여 밀폐된 공간을 형성하는 에어룸(150); 및상기 국부 드라이룸(130) 내부
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