초록

본 발명은 밀폐된 메인룸 내에서 생산설비가 있는 국부 지역만을 또 다른 드라이룸으로 구획하고, 상기 국부 드라이룸을 효율적으로 운영할 수 있게 하는 국부 드라이룸 시스템에 관한 것이다.특히, 본 발명은 국부 드라이룸의 도어 개폐시에도 에어락을 이용하여 외부의 수분이 유입되지 않도록 하고, 국부 드라이룸 내 작업자가 착용 가능한 작업자용 제습장치를 제공하는 국부 드라이룸 시스템에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

외부로부터 밀폐된 메인룸(110)과;상기 메인룸(110) 내부에 공기를 공급하는 메인 공조기(120)와;상기 메인룸(110) 내부 전체 중 일정 구역에 설치되며, 실내가 설정된 노점 이하로 유지되도록 밀폐된 국부 드라이룸(130)과;상기 메인룸(110)의 공기에 포함된 습기를 제거한 후 상기 국부 드라이룸(130) 내부로 공급하는 저노점 제습기(140)와;상기 국부 드라이룸(130)의 출입구에 설치되며, 내측 도어(151) 및 외측 도어(152)를 포함하여 밀폐된 공간을 형성하는 에어룸(150); 및상기 국부 드라이룸(130) 내부

외부로부터 밀폐된 메인룸(110)과;상기 메인룸(110) 내부에 공기를 공급하는 메인 공조기(120)와;상기 메인룸(110) 내부 전체 중 일정 구역에 설치되며, 실내가 설정된 노점 이하로 유지되도록 밀폐된 국부 드라이룸(130)과;상기 메인룸(110)의 공기에 포함된 습기를 제거한 후 상기 국부 드라이룸(130) 내부로 공급하는 저노점 제습기(140)와;상기 국부 드라이룸(130)의 출입구에 설치되며, 내측 도어(151) 및 외측 도어(152)를 포함하여 밀폐된 공간을 형성하는 에어룸(150); 및상기 국부 드라이룸(130) 내부의 공기를 상기 에어룸(150)으로 공급하여 상기 국부 드라이룸(130)으로 기류가 유입되지 않도록 차단하는 에어락(160);을 포함하되, 상기 저노점 제습기(140)는, 상기 메인룸(110)의 공기에 포함된 습기를 제거하는 제습 필터 및 상기 제습필터를 통과한 메인룸(110)의 공기를 상기 국부 드라이룸(130) 내부로 공급하여 상기 국부 드라이룸(130) 내부를 양압으로 유지시키는 저노점 팬유닛을 포함하며, 상기 에어락(160)은, 상기 에어룸(150)의 내측 도어(151) 및 외측 도어(152)가 모두 닫힌 상태에서 상기 저노점 팬유닛으로부터 공급된 공기를 설정된 체적 이상 저장하는 확장 및 수축이 가능한 에어백으로 이루어진 공기 저장팩(161)과, 상기 공기 저장팩(161)에 저장된 공기를 상기 국부 드라이룸(130) 또는 에어룸(150) 중 어느 한 장소로 공급하도록 배관된 긴급 가압라인(162) 및 상기 국부 드라이룸(130)과 에어룸(150) 사이에 설치된 내측 도어(151)가 열린 경우에는 상기 공기 저장팩(161)의 저장 공기를 국부 드라이룸(130)으로 공급하고, 상기 에어룸(150)과 메인룸(110) 사이에 설치된 외측 도어(152)가 열린 경우에는 상기 공기 저장팩(161)의 저장 공기를 에어룸(150)으로 공급하도록 상기 긴급 가압라인(162)을 제어하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 국부 드라이룸 시스템.