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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0172255 (2018-12-28) | |
공개번호 | 10-2020-0082069 (2020-07-08) | |
등록번호 | 10-2241941-0000 (2021-04-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180172255 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-07-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 그를 이용한 연마 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물은 연마입자; 표면거칠기(roughness) 개선제; 유기산을 포함하는 연마조절제; 및 pH 조절제;를 포함한다.
연마입자;표면거칠기(roughness) 개선제;유기산을 포함하는 연마조절제; 및pH 조절제;를 포함하고, 상기 연마입자는 콜로이달 실리카이고,pH는 3 내지 7인,다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
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