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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0173796 (2018-12-31) | |
공개번호 | 10-2020-0082827 (2020-07-08) | |
등록번호 | 10-2709495-0000 (2024-09-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180173796 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 연마 입자의 표면을 개질하여, 높은 연마 속도, 결점이나 스크래치가 작은 양질의 연마 품질을 갖는 화학-기계적 연마 입자 및 이를 포함하는 연마 슬러리 조성물을 제공한다.
연마 입자;상기 연마 입자 표면 상의 알루미늄 클러스터;를 포함하는 화학-기계적 연마 입자로서,역적정(back titration) 방법으로 얻어진 pKa 피크(peak)의 개수가 1개 이상이고, 상기 피크 중 적어도 하나의 피크의 pKa 값은 4.3 ~ 4.9 범위이며,제타 포텐셜이 40mV 이상인 화학-기계적 연마 입자.
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