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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-7009744 (2018-04-05) | |
공개번호 | 10-2018-0038586 (2018-04-16) | |
등록번호 | 10-1924309-0000 (2018-11-26) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2011-278290 (2011-12-20);일본(JP) JP-P-2012-024058 (2012-02-07) | |
국제출원번호 | PCT/JP2012/076326 (2012-10-11) | |
국제공개번호 | WO 2013/094286 (2013-06-27) | |
번역문제출일자 | 2018-04-05 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020187009744 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-04-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 처리 장치(1011)는, 조명 영역(IR)과 투영 영역(PA) 중 한쪽 영역에 있어서 소정 곡율로 원통면 모양으로 만곡한 제1 면(p1001)을 따르도록, 제1 물체(M)와 제2 물체(P) 중 한쪽을 지지하는 제1 지지 부재(1021)와, 조명 영역과 투영 영역 중 다른 쪽 영역에 있어서 소정의 제2 면(p1002)을 따르도록, 제1 물체와 제2 물체 중 다른 쪽을 지지하는 제2 지지 부재(1022)를 구비한다. 투영 광학계(PL)는, 조명 영역으로부터 투영 영역에 이르는 결상 광속의 주광선 중, 제1 면과 투영 광학계 사이의
가요성의 시트 기판을 연속적으로 긴 방향으로 보내면서, 그 시트 기판 상에 디바이스를 위한 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법으로서, 상기 디바이스의 패턴에 대응한 투과형 또는 반사형의 마스크 패턴이, 제1 중심선으로부터 일정 반경의 원통면을 따라서 형성된 원통 마스크를, 상기 제1 중심선의 주위로 회전시킴과 아울러, 상기 제1 중심선과 평행하게 떨어져서 설정되는 제2 중심선으로부터 일정 반경의 원통 모양의 외주면을 가지는 원통 드럼에 의해서 상기 시트 기판의 일부를 원통면 모양으로 만곡시켜 지지하면서, 상기 원통 드럼을 상기 제2 중
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