초록 ▼

본 발명은, 진공척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압을 이용하여 공정대상물을 고정하는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템에 관한 것이다.본 발명은, 본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고, 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본

본 발명은, 진공척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압을 이용하여 공정대상물을 고정하는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템에 관한 것이다.본 발명은, 본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고, 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며, 상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며, 고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 메인오링(190)이 상기 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈을 개시한다.

대표청구항 ▼

본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고,진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(500)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며,상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며,고정될 가공대상물(2)의

본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고,진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(500)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며,상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며,고정될 가공대상물(2)의 평면크기보다 작은 크기의 평면형상의 폐곡선을 이루며 상기 폐곡선이 상기 하나 이상의 진공압형성공(142)을 포함하는 메인오링(190)이 상기 제1그리드홈라인(110) 및 상기 제2그리드홈라인(120)에 삽입되어 가공대상물(2)을 진공압에 의하여 직접 또는 간접으로 고정하며,상기 다수의 그리드 돌기(130)들 중 상기 제1방향(X) 또는 상기 제2방향(Y)으로 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제1그리드돌기(121)와, 상기 제1그리드돌기(121)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드 돌기(130)가 연결되어 형성된 제2그리드돌기(122)를 포함하여, 상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 사이에서 하나 이상의 메인오링(190)의 양끝단이 서로 면접되는 오링결합돌기(121, 122)를 포함하며,상기 제1그리드돌기(121) 및 상기 제2그리드돌기(122) 중 상기 본체(100)의 가장자리로부터 멀리 위치된 제2그리드돌기(122)에 인접하여 평행하게 2개 이상의 그리드돌기(120)가 연결되어 형성된 한 쌍의 제3그리드돌기(123)을 포함하며, 상기 진공압형성공(142)은, 상기 한 쌍의 제3그리드돌기(123) 사이에 형성되며,상기 진공압형성공(142)은, 사용시 개방되고 비사용시 폐쇄부재(145)가 결합되어 폐쇄되며,상기 한 쌍의 제3그리드돌기(123)는, 상기 폐쇄부재(145)의 설치를 위하여 상기 진공압형성공(142)의 내경보다 크게 확장된 볼트설치홈(122a, 123a)이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공척 모듈.