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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0002232 (2019-01-08) | |
공개번호 | 10-2020-0086071 (2020-07-16) | |
등록번호 | 10-2194573-0000 (2020-12-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190002232 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-01-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 진공척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공압을 이용하여 공정대상물을 고정하는 진공척 모듈 및 그를 가지는 공정시스템에 관한 것이다.본 발명은, 본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고, 진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(501)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본
본체(100)의 상면에 제1방향(X)으로 서로 평행하게 형성된 복수의 제1그리드홈라인(110), 상기 제1방향(X)과 교차되는 하나 이상의 제2방향(Y)으로 형성된 하나 이상의 제2그리드홈라인(120)에 의하여 다수의 그리드 돌기(130)들이 형성되고,진공압 형성부(800)에 연결되어 진공압을 전달하는 공압전달조립체(500)와 결합되는 하나 이상의 결합홀(141)이 상기 본체(100)의 측면에서 내측으로 형성되며,상기 본체(100)의 상면에서 진공압형성공(142)이 상기 결합홀(141)과 연결되도록 형성되며,고정될 가공대상물(2)의
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