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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0037663 (2019-04-01) | |
등록번호 | 10-2024206-0000 (2019-09-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190037663 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-04-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정할 수 있는 적외선 온도센서를 내화학성 및 내방수성을 갖도록 구성함으로써, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하도로 하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 구비된다,
웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는,반도체 웨이퍼 세정장치(10)의 챔버(11) 내부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 측정가능하도록 일면에는 케이블 안내편(110)을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러와 송수신하기 위해 배선된 케이블(C)을 안내가능하도록 안내홀(120a)이 천공되어 구비되는 후단커버부재(120)와;상기 후단커버부재(120)의 일면에 고정되되, 일면에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라(142)가 갖추어지며, 상기 적외선카메라(142)가 웨이퍼(W)에 대하여 포인트별
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