초록

본 발명은 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정할 수 있는 적외선 온도센서를 내화학성 및 내방수성을 갖도록 구성함으로써, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하도로 하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 구비된다,

대표청구항 ▼

웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는,반도체 웨이퍼 세정장치(10)의 챔버(11) 내부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 측정가능하도록 일면에는 케이블 안내편(110)을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러와 송수신하기 위해 배선된 케이블(C)을 안내가능하도록 안내홀(120a)이 천공되어 구비되는 후단커버부재(120)와;상기 후단커버부재(120)의 일면에 고정되되, 일면에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라(142)가 갖추어지며, 상기 적외선카메라(142)가 웨이퍼(W)에 대하여 포인트별

웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는,반도체 웨이퍼 세정장치(10)의 챔버(11) 내부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 측정가능하도록 일면에는 케이블 안내편(110)을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러와 송수신하기 위해 배선된 케이블(C)을 안내가능하도록 안내홀(120a)이 천공되어 구비되는 후단커버부재(120)와;상기 후단커버부재(120)의 일면에 고정되되, 일면에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라(142)가 갖추어지며, 상기 적외선카메라(142)가 웨이퍼(W)에 대하여 포인트별 온도를 각각 센싱가능하도록 구비되는 온도센서부(140)와;상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일면은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 고정가능하게 구비되는 중간커버부재(160)와;상기 중간커버부재(160)의 타면에 실링가능하게 안착되는 것에 의해 상기 온도센서부(140)의 적외선카메라(142) 전방에 위치되어 내화학성과 내마모성을 갖도록 표면에는 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 구비되는 윈도우부재(170)와;상기 중간커버부재(160)의 타면에 일면이 고정되는 것에 의해 상기 윈도우부재(170)를 일부가 노출되게 고정시키면서 방수가능하도록 구비되는 전단커버부재(190)를 포함하되,상기 후단커버부재(120)는, 챔버(11)에 일단이 고정된 고정부재(200)의 타단에 고정 연결될 수 있도록 일면에는 고정편(121)이 돌출 형성되고, 상기 고정편(121) 일측에는 상기 온도센서부(140)와 접속 연결된 케이블(C)을 안내하기 위해 구비된 케이블 안내편(110)을 고정 설치할 수 있도록 안내홀(120a)이 형성되며, 모서리부에는 상기 온도센서부(140)를 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 고정 시킬 수 있도록 고정용 홀(120b)이 각각 형성되어 구비되며,상기 고정부재(200)는, 일단이 챔버 내측면에 고정되는 고정바(210)와, 상기 고정바(210)의 타단에 일단이 각도 조절가능하게 연결된 연결바(220)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서.