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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0082938 (2019-07-10) | |
공개번호 | 10-2021-0007096 (2021-01-20) | |
등록번호 | 10-2260165-0000 (2021-05-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190082938 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-07-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 질소산화물 가스 검출 센서는 그래핀 층 및 상기 그래핀 층의 일 면에 접하여 위치하는 금속산화물 박막을 포함하는 이중 채널; 상기 이중 채널의 상기 금속산화물 박막 상 서로 이격 위치하는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 이중 채널의 상기 그래핀 층의 다른 일 면에 접하여 위치하는 게이트 산화막; 및 상기 소스 전극과 드레인 전극간 이격된 영역에 대응하는 게이트 산화막 영역 상 위치하는 게이트 전극;을 포함한다.
그래핀 층 및 상기 그래핀 층의 일 면에 접하여 위치하는 금속산화물 박막을 포함하는 이중 채널;상기 이중 채널의 상기 금속산화물 박막 상 서로 이격 위치하는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 이중 채널의 상기 그래핀 층의 다른 일 면에 접하여 위치하는 게이트 산화막; 및상기 소스 전극과 드레인 전극간 이격된 영역에 대응하는 게이트 산화막 영역 상 위치하는 게이트 전극;을 포함하는 질소산화물(NOx) 가스 검출 센서.
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