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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0089267 (2019-07-24) | |
공개번호 | 10-2021-0012113 (2021-02-03) | |
등록번호 | 10-2270378-0000 (2021-06-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190089267 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-07-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 인돌 유도체로 이루어지는 중합체 또는 이를 포함하는 공중합체 혼합물(blend) 및 (b) 유기 용매를 포함하여 이루어지는 반사방지 하드마스크 조성물이 제공된다.[화학식 1]
(a) 하기 화학식 2-3, 2-4, 2-6, 및 2-7 중 어느 하나를 포함하여 이루어지는 중합체 또는 이를 포함하는 공중합체 혼합물(blend); 및(b) 유기 용매;를 포함하여 이루어지는 반사방지 하드마스크 조성물.
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