초록 ▼

본 발명은 반도체 클린룸 공조설비 자동 모니터링시스템에 관한 것으로;그 기술구현의 목적은, 클린룸내 다방향 위치로 설치되는 각 환기팬에 그들 환기팬의 작동상태를 실시간 감시하는 개별 섹터 구성의 팬 모니터모듈을 설치하고, 상기 설치된 팬 모니터 모듈에 각각 고유의 식별ID를 부여하여 메인 모니터링 관리서버와 개별 통신을 가능하게 하며, 재차, 그와 같은, 개별통신을 통해 각 환기팬의 실시간 작동정보 데이터를 취득하여 이를 메인 모니터링 관리서버로 하여금 실시간 작동 감시되게 함으로서, 반도체 공장내 클린룸의 공조설비를 보다 효율적이

본 발명은 반도체 클린룸 공조설비 자동 모니터링시스템에 관한 것으로;그 기술구현의 목적은, 클린룸내 다방향 위치로 설치되는 각 환기팬에 그들 환기팬의 작동상태를 실시간 감시하는 개별 섹터 구성의 팬 모니터모듈을 설치하고, 상기 설치된 팬 모니터 모듈에 각각 고유의 식별ID를 부여하여 메인 모니터링 관리서버와 개별 통신을 가능하게 하며, 재차, 그와 같은, 개별통신을 통해 각 환기팬의 실시간 작동정보 데이터를 취득하여 이를 메인 모니터링 관리서버로 하여금 실시간 작동 감시되게 함으로서, 반도체 공장내 클린룸의 공조설비를 보다 효율적이고 안정적이며, 체계적으로 유지 관리할 수 있도록 한 스마트기술을 기반으로하는 반도체 클린룸 공조설비 자동 모니터링시스템을 제공함에 있다. 따라서, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적 수단으로는;반도체 클린룸내 다방향 위치에 다수개의 환기팬을 분할 설치한 공조시스템에 있어, 상기 분할 배치된 각 환기팬에 그들 환기팬의 작동상태를 실시간 감시하기 위한 개별 섹터구성의 팬 모니터모듈을 설치 형성하고;상기 팬 모니터모듈로부터 환기팬의 작동상태 감시신호정보를 전송받고, 환기팬의 감시신호정보를 진단 분석하여 작동 이상이 발생한 환기팬의 위치와 이상 현상을 긴급 알림정보로 출력하는 메인 모니터링 서버를 형성하여 달성한다.

대표청구항 ▼

클린룸내 다방향 위치에 다수개의 환기팬(F1~Fn)이 분할 배치구성으로 설치 형성된 반도체 클린룸 공조시스템에 있어서;상기 다수개로 분할 배치된 환기팬(F1~Fn)은, 그들 환기팬(F1~Fn)의 작동상태를 실시간 감시하는 개별 섹터구성의 팬 모니터모듈(1)을 설치 형성하며;상기 팬 모니터모듈(1)로부터 환기팬(F1~Fn)의 작동상태 감시신호정보를 실시간 전송받고, 전송받은 환기팬(F1~Fn)의 감시신호정보를 진단 분석하며, 그 진단 분석을 통해 환기팬(F1~Fn)의 작동상태 이상유무를 판독처리하여 작동 이상이 발생한 환기팬(F1~F

클린룸내 다방향 위치에 다수개의 환기팬(F1~Fn)이 분할 배치구성으로 설치 형성된 반도체 클린룸 공조시스템에 있어서;상기 다수개로 분할 배치된 환기팬(F1~Fn)은, 그들 환기팬(F1~Fn)의 작동상태를 실시간 감시하는 개별 섹터구성의 팬 모니터모듈(1)을 설치 형성하며;상기 팬 모니터모듈(1)로부터 환기팬(F1~Fn)의 작동상태 감시신호정보를 실시간 전송받고, 전송받은 환기팬(F1~Fn)의 감시신호정보를 진단 분석하며, 그 진단 분석을 통해 환기팬(F1~Fn)의 작동상태 이상유무를 판독처리하여 작동 이상이 발생한 환기팬(F1~Fn)의 위치와 이상 현상을 실시간 긴급 알림정보로 출력하는 메인 모니터링 서버(2)를 구축하여 형성되고;상기 개별 섹터구성의 팬 모니터모듈(1)은, 서로 다른 고유의 식별ID를 설정 부여받고, 부여받은 식별ID에 의한 로그인을 통해 메인 모니터링 서버(2)와 온라인 연결되며, 온라인 연결에 의한 데이터 통신방식에 의해 상기 메인 모니터링 서버(2)는 개별 섹터구성의 팬 모니터링 모듈(1)로부터 환기팬(F1~Fn)에 대한 개별 감시정보를 실시간 전송받음을 특징으로 하는 스마트기술을 기반으로하는 반도체 클린룸 공조설비 자동 모니터링시스템.