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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0154711 (2019-11-27) | |
등록번호 | 10-2238080-0000 (2021-04-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190154711 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-11-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
레이저 어닐 장치 및 방법이 제시된다.일 실시예에 따른 기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치는, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 할 수 있다.
기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치에 있어서, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 하며, 상기 광학계는, 서로 다른 파장으로 이루어진 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저 중 어느 하나를 투과시키고 다른 하나를 반사시켜 두 개의 레이저 빔을 합쳐지도록 하는 빔 스플
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