초록

레이저 어닐 장치 및 방법이 제시된다.일 실시예에 따른 기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치는, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 할 수 있다.

대표청구항 ▼

기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치에 있어서, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 하며, 상기 광학계는, 서로 다른 파장으로 이루어진 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저 중 어느 하나를 투과시키고 다른 하나를 반사시켜 두 개의 레이저 빔을 합쳐지도록 하는 빔 스플

기판 표면을 열처리하는 레이저 어닐 장치에 있어서, 펄스 레이저를 조사하는 펄스 레이저 광원; 연속발진 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 광원; 및 조사된 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저를 기판 표면으로 안내하는 광학계를 포함하고, 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저가 동시에 상기 기판 표면을 조사하여, 상기 기판 표면을 열처리 하며, 상기 광학계는, 서로 다른 파장으로 이루어진 상기 펄스 레이저 및 상기 연속발진 레이저 중 어느 하나를 투과시키고 다른 하나를 반사시켜 두 개의 레이저 빔을 합쳐지도록 하는 빔 스플리터(beam splitter)를 포함하며, 반사경, 빔 균질기(beam homogenizer) 및 렌즈를 더 포함하고, 상기 빔 스플리터를 통과하여 합쳐진 상기 두 개의 레이저 빔은 상기 반사경, 빔 균질기 및 렌즈를 순차적으로 거쳐 상기 기판 표면에 조사되며 상기 기판 표면에서 빔 스팟은 서로 중첩되고, 상기 렌즈의 초점 거리를 조절하여 소정의 빔 스팟의 크기를 얻을 수 있고, 기판은 동력 변환 스테이지(motorized translation stage) 상에 있어서 일정한 스캔 속도로 움직이면서 레이저 어닐링이 진행되는 것을 특징으로 하는, 레이저 어닐 장치.