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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

레거시 하드웨어 및 소프트웨어를 위한 향상된 리­호스팅 능력 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G06F-001/26
  • G06F-001/32
  • G06F-011/30
  • G06F-013/40
출원번호 10-2019-7005219 (2019-02-21)
공개번호 10-2019-0020201 (2019-02-27)
등록번호 10-2077460-0000 (2020-02-10)
우선권정보 미국(US) 61/601,493 (2012-02-21);미국(US) 13/771,870 (2013-02-20)
국제출원번호 PCT/US2013/026908 (2013-02-20)
국제공개번호 WO 2013/126431 (2013-08-29)
번역문제출일자 2019-02-21
DOI http://doi.org/10.8080/1020197005219
발명자 / 주소
  • 샤우어, 로날드 번 / 미국 ***** 캘리포니아 길로이 슈가 베이브 드라이브 ****
  • 코빙턴, 마크 로저 / 미국 ***** 캘리포니아 써니베일 벨빌 웨이 ****
  • 쿠마라스와미, 수레쉬 / 인도 ****** 카르나타카 방갈로르 할루르 로드 레이크 듀 레지던시 **
  • 푸리, 아미타브 / 미국 ***** 캘리포니아 새너제이 조셉 소시 피엘. ****
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤남
심사청구여부 있음 (2019-02-21)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 실시예들은, 비-레거시(non-legacy) 제어기를 이용하여 레거시 반도체 애플리케이션들을 실행하는 시스템들 및 방법들에 관한 것이다.일부 실시예들에서, 하드웨어 추상화 계층 및/또는 모방기를 이용하여, 비-레거시 동작 시스템과 레거시 애플리케이션들을 포함하는 레거시 구성요소들 사이의 통신을 제공할 수 있다. 일부 실시예들에서, 여러 가지 방법들 및/또는 장치들을 이용하여, 레거시와 비-레거시 구성요소들 사이의 통신들을 모방 및/또는 전환하기 위해서 이용될 수 있다.

대표청구항 ▼

반도체 프로세스 제어 시스템으로서,하나 이상의 프로세서들;상기 하나 이상의 프로세서들 상에서 실행되는 제 1 동작 시스템;상기 제 1 동작 시스템과 상이한 레거시 동작 시스템 및 레거시 반도체 프로세스 제어 시스템과 함께 동작하도록 개발된 레거시 애플리케이션 ― 상기 레거시 애플리케이션은 적어도 하나의 레거시 제조 툴과 상호작용하도록 구성됨―; 및상기 제 1 동작 시스템과 상기 레거시 애플리케이션 사이의 통신을 제공하도록 구성되는 하드웨어 추상화 계층 및/또는 모방기 계층(emulator layer)을 포함하고,상기 레거시 애플리케

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