초록

본 응력 측정 장치는, 레이저광의 편광 위상차를, 상기 레이저광의 파장에 대하여 1파장 이상 가변하는 편광 위상차 가변 부재와, 상기 편광 위상차가 가변된 레이저광이 강화 유리로 입사됨으로써 발하는 산란광을, 소정의 시간 간격으로 복수회 촬상하여, 복수의 화상을 취득하는 촬상 소자와, 상기 복수의 화상을 사용하여 상기 산란광의 주기적인 휘도 변화를 측정하고, 상기 휘도 변화의 위상 변화를 산출하고, 상기 위상 변화에 기초하여 상기 강화 유리의 표면으로부터의 깊이 방향의 응력 분포를 산출하는 연산부를 갖는다.

대표청구항

레이저광의 편광 위상차를, 상기 레이저광의 파장에 대하여 1파장 이상 가변하는 편광 위상차 가변 부재와,상기 편광 위상차가 가변된 레이저광이 강화 유리로 입사됨으로써 발하는 산란광을, 소정의 시간 간격으로 복수회 촬상하여, 복수의 화상을 취득하는 촬상 소자와,상기 복수의 화상을 사용하여 상기 산란광의 주기적인 휘도 변화를 측정하고, 상기 휘도 변화의 위상 변화를 산출하고, 상기 위상 변화에 기초하여 상기 강화 유리의 표면으로부터의 깊이 방향의 응력 분포를 산출하는 연산부를 갖는 것을 특징으로 하는 강화 유리의 응력 측정 장치.

레이저광의 편광 위상차를, 상기 레이저광의 파장에 대하여 1파장 이상 가변하는 편광 위상차 가변 부재와,상기 편광 위상차가 가변된 레이저광이 강화 유리로 입사됨으로써 발하는 산란광을, 소정의 시간 간격으로 복수회 촬상하여, 복수의 화상을 취득하는 촬상 소자와,상기 복수의 화상을 사용하여 상기 산란광의 주기적인 휘도 변화를 측정하고, 상기 휘도 변화의 위상 변화를 산출하고, 상기 위상 변화에 기초하여 상기 강화 유리의 표면으로부터의 깊이 방향의 응력 분포를 산출하는 연산부를 갖는 것을 특징으로 하는 강화 유리의 응력 측정 장치.