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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7037938 (2019-12-23) | |
공개번호 | 10-2020-0011466 (2020-02-03) | |
등록번호 | 10-2381599-0000 (2022-03-29) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-138707 (2017-07-18) | |
국제출원번호 | PCT/JP2018/024986 (2018-07-02) | |
국제공개번호 | WO 2019/017190 (2019-01-24) | |
번역문제출일자 | 2019-12-23 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197037938 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-12-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
복수의 실리콘 웨이퍼를 양산하는 실리콘 웨이퍼 제조 공정의 평가 방법이 제공된다.양산된 실리콘 웨이퍼의 라이프 타임 측정을, 각 실리콘 웨이퍼에 대해서 면 내의 상이한 개소에 있어서 행하여 복수의 측정값을 얻는다.상기 복수의 측정값으로부터 각 실리콘 웨이퍼의 대표값을 구한다.복수의 실리콘 웨이퍼로 구성되는 웨이퍼군마다 웨이퍼군에 포함되는 각 실리콘 웨이퍼의 대표값을 이용하여 판정 문턱값을 구한다.상기 웨이퍼군에 각 실리콘 웨이퍼에 대해서 얻어진 복수의 측정값 중에 판정 문턱값에 기초하여 결정되는 라이프 타임 이상(異常)값을 포함하는
복수의 실리콘 웨이퍼를 양산하는 실리콘 웨이퍼 제조 공정의 평가 방법으로서,상기 제조 공정에 있어서 양산된 실리콘 웨이퍼의 라이프 타임 측정을, 각 실리콘 웨이퍼에 대해서 면 내의 상이한 개소에 있어서 행하고, 각 실리콘 웨이퍼에 대해서 복수의 측정값을 얻는 것,각 실리콘 웨이퍼에 대해서, 상기 복수의 측정값으로부터, 당해 실리콘 웨이퍼의 대표값을 구하는 것,상기 양산된 실리콘 웨이퍼에 대해서, 복수의 실리콘 웨이퍼로 구성되는 웨이퍼군마다, 웨이퍼군에 포함되는 각 실리콘 웨이퍼의 대표값을 이용하여 판정 문턱값을 구하는 것,상기 웨이
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