초록

본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 소자는 제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 캐소드 전극으로서, 상기 캐소드 전극은 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 리세스된 그루브들을 포함하는 것; 및 상기 그루브들 내에 배치되며, 제1 방향으로 연장된 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 전도성 와이어를 포함하는 에미터 구조체들을 포함하되, 상기 그루브들은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되고, 상기 에미터 구조체들은 서로 다른 수직적 레벨에 위치할 수 있다.

대표청구항

제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 캐소드 전극으로서, 상기 캐소드 전극은 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 리세스된 그루브들을 포함하는 것; 및상기 그루브들 내에 배치되며, 제1 방향으로 연장된 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 전도성 와이어를 포함하는 에미터 구조체들을 포함하되,상기 그루브들은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되고,상기 에미터 구조체들은 서로 다른 수직적 레벨에 위치하는 전계 방출 소자.

제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 캐소드 전극으로서, 상기 캐소드 전극은 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 리세스된 그루브들을 포함하는 것; 및상기 그루브들 내에 배치되며, 제1 방향으로 연장된 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 전도성 와이어를 포함하는 에미터 구조체들을 포함하되,상기 그루브들은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되고,상기 에미터 구조체들은 서로 다른 수직적 레벨에 위치하는 전계 방출 소자.