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[한국특허] 조셉슨 접합 소자 및 그 제조 방법
Josephson junction device and method for manufacturing the same
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-039/22
  • H01L-039/02
  • H01L-039/12
  • H01L-039/24
출원번호 10-2020-0004947 (2020-01-14)
공개번호 10-2021-0091582 (2021-07-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200004947
발명자 / 주소
  • 이재형 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** ,삼성전자종합기술원(매탄동,삼성전자공업단지)
  • 권혁신 / 경기도 성남시 분당구 양현로**번길 ** (이매동, 이매촌청구아파트)
출원인 / 주소
  • 삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** (매탄동)
대리인 / 주소
  • 리앤목특허법인
법적상태 공개

초록

조셉슨 접합 소자 및 그 제조 방법이 개시된다.조셉슨 접합 소자는, 소자 기판 상에 평면 배열되는, 적어도 한층 이상의 이차원 물질을 포함하는 제1이차원 물질층, 제1이차원 물질층과 제1접합을 이루는 그래핀층 및 그래핀층과 제2접합을 이루며, 적어도 한층 이상의 이차원 물질을 포함하는 제2이차원 물질층을 포함하여, 제1이차원 물질층, 그래핀층 및 제2이차원 물질층의 평면 구조를 가진다. 제1접합과 제2접합 사이의 간격은 조셉슨효과를 발생시키는 범위내로 마련된다.

대표청구항

소자 기판 상에 평면 배열되는, 적어도 한층 이상의 이차원 물질을 포함하는 제1이차원 물질층, 상기 제1이차원 물질층과 제1접합을 이루는 그래핀층 및 상기 그래핀층과 제2접합을 이루며, 적어도 한층 이상의 이차원 물질을 포함하는 제2이차원 물질층을 포함하여, 상기 제1이차원 물질층, 그래핀층 및 제2이차원 물질층의 평면 구조를 가지며, 상기 제1접합과 제2접합 사이의 간격은 조셉슨효과를 발생시키는 범위내인 조셉슨 접합 소자.

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