[특허]다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법

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[한국특허] 다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법
ULTRASONIC TRANSDUCER WITH MULTI-LAYERD MEMBRANE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	B06B-001/02 C08J-007/12
출원번호	10-2020-0012026 (2020-01-31)
공개번호	10-2021-0098173 (2021-08-10)
등록번호	10-2298213-0000 (2021-08-31)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200012026
발명자 / 주소	이현주 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동, 한국과학기술원) 이상목 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동, 한국과학기술원) 강병범 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동, 한국과학기술원) 윤성원 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동, 한국과학기술원)
출원인 / 주소	한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2020-01-31)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

다층 구조의 멤브레인을 가진 초음파 트랜스듀서 및 이의 제작 방법이 개시된다.일 실시예에 따른 초음파 트랜스듀서는 기판과, 상기 기판 위에 형성되는 캐비티(cavity)와, 상기 캐비티를 덮고 제1 레이어 및 제2 레이어의 다층 구조로 형성된 멤브레인을 포함한다.

대표청구항

기판; 상기 기판 위에 형성되는 캐비티(cavity);상기 캐비티를 덮고, 제1 레이어 및 제2 레이어의 다층 구조로 형성된 멤브레인을 포함하고,상기 제1 레이어 및 상기 제2 레이어의 영률은 서로 상이하고,상기 제1 레이어 및 상기 제2 레이어의 두께는 상기 제1 레이어 및 상기 제2 레이어의 영률 값의 비에 기초하여 결정되는 초음파 트랜스듀서.

이 특허에 인용된 특허 (3) 인용/피인용 타임라인 분석

[미국] Capacitive micromachined ultrasonic transducer | Adachi, Hideo, Omura, Etsuko, Mizunuma, Akiko, Wakabayashi, Katsuhiro, Imahashi, Takuya, Sawada, Yukihiko, Otani, Shuji, Murakami, Miyuki, Nemoto, Kiyoshi, Suzuki, Kozaburo, Shimoda, Naomi
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[미국] SENSOR DEVICE INTEGRATED WITH ULTRASONIC TRANSDUCER AND MICROPHONE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF | PANG, DA-CHEN
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[일본] ULTRASONIC INSPECTION APPARATUS AND CAPACITIVE ULTRASONIC TRANSDUCER | MORITA YUSUKE, MACHIDA SHUNTARO, HASEGAWA HIROAKI, TAKEZAKI TAICHI, RYUZAKI DAISUKE
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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