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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0036225 (2020-03-25) | |
공개번호 | 10-2020-0131162 (2020-11-23) | |
등록번호 | 10-2283337-0000 (2021-07-23) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020190055766 (2019-05-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200036225 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-03-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 표면에 형성되거나 기판의 금속 배선 내에 분포된 이질성 금속 입자의 검출 방법이 개시된다. 이질성 금속 입자는 특정의 기능을 수행하는 기판에서 결함으로 작용한다. 이질성 금속 입자를 검출하기 위해 국부적 표면 플라즈몬 공명이 이용된다. 국부적 표면 플라즈몬 공명에 의해 이질성 금속 원자의 온도는 상승하고, 발생되는 열의 감지를 통해 이질성 금속 입자는 용이하게 검출될 수 있다.
검출대상인 금속 나노입자가 형성된 영역 및 상기 금속 나노입자가 형성된 영역 주변의 주변 영역을 포함하는 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 표면에 파장을 변경시키면서 광을 조사하는 단계;상기 조사된 광에 의해 특정 파장에서 상기 금속 나노입자에 국부적 표면 플라즈몬 공명을 발생시켜, 상기 금속 나노입자가 형성된 영역을 국부적으로 가열하는 단계;상기 기판의 표면에 대한 열 이미지를 실시간으로 획득하는 단계; 및상기 열 이미지에 기반한 상기 금속 나노입자가 형성된 영역과 상기 주변 영역의 온도 차이를 이용하여 상기 금속 나노입자를 검출
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