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[한국특허] 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 갖는 2차원 재료의 제조방법
MANUFACTURING METHOD OF 2D MATERIAL WITH NANO-PATTERNS ALIGNED IN VERTICAL DIRECTION
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • G03F-007/00
출원번호 10-2020-0041471 (2020-04-06)
공개번호 10-2021-0123809 (2021-10-14)
등록번호 10-2378177-0000 (2022-03-21)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200041471
발명자 / 주소
  • 이용희 / 대전 유성구 유성대로 **** ***동 ***호
  • 송태은 / 대전시 서구 도안동 도안북로 ***(한라비발디) ***동 ***호
  • 안치원 / 대전시 유성구 상대남로 ** 트리플시티 ***-****
  • 윤화진 / 대전 유성구 문화원로 ***-* ***호(봉명동, 에이스타운*)
  • 한희 / 대전시 유성구 동서대로 *** 어울림하트 ****-****
출원인 / 주소
  • 한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소
  • 한상수
심사청구여부 있음 (2020-04-06)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 갖는 2차원 재료의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고가의 장비 없이 쉽고 빠르게 2차원 재료에 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 형성하기 위한 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 갖는 2차원 재료의 제조방법에 관한 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 a) 2차원 재료가 분산된 유기용매로 이루어진 혼합용액이 기판부 상에 위치되는 단계; b) 상기 혼합용액 상에 몰드부가 위치되는 단계; c) 모세관 현상에 의해 상기 혼합용액이 상기 몰드부의 내측으로 이동되는 단계

대표청구항

몰드플레이트; 상기 몰드플레이트로부터 일측면을 향해 돌출되도록 연장 형성되며 상호 이격되어 형성된 복수의 몰드연장체; 및 이웃하는 상기 몰드연장체 사이에 형성되며 상기 몰드플레이트의 길이 방향으로 함몰된 공간 형태로 연장 형성된 몰드그루브;를 포함하는 몰드부를 이용한 수직 방향으로 정렬된 나노패턴을 갖는 2차원 재료의 제조방법에 있어서,a) 2차원 재료가 분산된 유기용매로 이루어진 혼합용액이 기판부 상에 위치되는 단계;b) 상기 기판부에 위치하는 상기 혼합용액 상에 상기 복수의 몰드연장체가 맞닿으면서 상기 몰드그루브가 형성되도록 상

이 특허에 인용된 특허 (1) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. [한국] 수직 정렬된 2차원 물질을 포함하는 소자 및 수직 정렬된 2차원 물질의 형성방법 | 양기연, 이창승, 김남정, 김연희

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