초록

본 발명은 본 발명은 원자층 증착(ALD) 공정을 이용한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 ALD 공정에 유지 과정 (maintenance step)을 도입함으로써 최적 공정 조건을 제공하고자 한다. 이에 따라, 다공성 촉매 내부 구조까지 균일하게 무기막을 증착시킬 수 있고, 우수한 촉매 활성도와 소결 방지 효과를 제공할 수 있다.

대표청구항 ▼

(a) 원자층 증착법(ALD)에 따라 담지 촉매에 전구체를 운반 기체를 이용하여 주입하여, 촉매 표면에 상기 전구체를 증착시키는 단계;(b) 닫힌 공간에서 50~300℃의 온도, 1~10 토르(torr)의 압력 및 500~700초의 시간 동안 유지(maintenance)하는 단계;(c) 퍼지(purge)하는 단계;(d) 상기 담지 촉매에 산화제를 주입하여, 촉매 표면에 증착된 전구체와 반응시켜 촉매 표면에 무기막을 증착시키는 단계;(e) 닫힌 공간에서 50~300℃의 온도, 1~10 토르(torr)의 압력 및 500~700초의 시간

(a) 원자층 증착법(ALD)에 따라 담지 촉매에 전구체를 운반 기체를 이용하여 주입하여, 촉매 표면에 상기 전구체를 증착시키는 단계;(b) 닫힌 공간에서 50~300℃의 온도, 1~10 토르(torr)의 압력 및 500~700초의 시간 동안 유지(maintenance)하는 단계;(c) 퍼지(purge)하는 단계;(d) 상기 담지 촉매에 산화제를 주입하여, 촉매 표면에 증착된 전구체와 반응시켜 촉매 표면에 무기막을 증착시키는 단계;(e) 닫힌 공간에서 50~300℃의 온도, 1~10 토르(torr)의 압력 및 500~700초의 시간 동안 유지(maintenance)하는 단계; 및(f) 퍼지(purge)하는 단계;를 포함하는 ALD 공정에 의한 무기막이 증착된 금속 촉매의 제조방법.