초록

개시된 나노 구조의 제조 방법은, 요철 구조를 갖는 위상 마스크와 감광성 필름을 접촉시키는 단계; 상기 위상 마스크의 요철 구조를 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및 상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사된다.

대표청구항 ▼

요철 구조를 갖는 위상 마스크와 감광성 필름을 접촉시키는 단계;상기 위상 마스크의 요철 구조를 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고,상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사되며,상기 요철 구조는 일 방향으로 연장되는 돌출부들을 포함하는 1차원 격자 구조를 가지며, 상기 나노 구조는 수평 방향으로 연장되는 복수의 채널들을 포함하고,상기 광의 입사 각도는 하기의 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의

요철 구조를 갖는 위상 마스크와 감광성 필름을 접촉시키는 단계;상기 위상 마스크의 요철 구조를 통해 상기 감광성 필름을 노광하는 단계; 및상기 감광성 필름을 현상하여 나노 구조를 형성하는 단계를 포함하고,상기 감광성 필름을 노광하는 단계에서, 광은 상기 감광성 필름의 노광면에 기울어진 방향으로 입사되며,상기 요철 구조는 일 방향으로 연장되는 돌출부들을 포함하는 1차원 격자 구조를 가지며, 상기 나노 구조는 수평 방향으로 연장되는 복수의 채널들을 포함하고,상기 광의 입사 각도는 하기의 식 1을 만족하는 것을 특징으로 하는 나노 구조의 제조 방법. <식 1>(식 1에서, 는 상기 위상 마스크의 굴절률이고, 은 상기 감광성 필름의 굴절률이고, 는 진공에서 상기 광의 파장이고, 는 상기 돌출부들의 주기이고, 는 상기 광의 입사각이다.)