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[한국특허] 셔터장치, 노광장치, 막 형성장치 및 물품 제조방법
SHUTTER APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, FILM FORMING APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/20
  • G03F-007/00
출원번호 10-2020-0051202 (2020-04-28)
공개번호 10-2020-0130130 (2020-11-18)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2019-090079 (2019-05-10)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200051202
발명자 / 주소
  • 무라카미 미즈마 / 일본국 도꾜도 오오따꾸 시모마루꼬 *쪼메 **방 *고 캐논 가부시끼가이샤 나이
  • 오타 �스케 / 일본국 도꾜도 오오따꾸 시모마루꼬 *쪼메 **방 *고 캐논 가부시끼가이샤 나이
  • 모우리 요시히로 / 일본국 도꾜도 오오따꾸 시모마루꼬 *쪼메 **방 *고 캐논 가부시끼가이샤 나이
출원인 / 주소
  • 캐논 가부시끼가이샤 / 일본 도꾜도 오오따꾸 시모마루꼬 *쪼메 **방 *고
대리인 / 주소
  • 권태복
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

셔터장치는, 노광 광의 광로를 셔터 블레이드에 의해 개폐한다. 상기 셔터 블레이드는, 노광 광이 입사하는 제1 면과 상기 제1 면의 반대측의 제2 면을 갖는 베이스 부재와, 상기 제2 면에 결합된 보조부재를 포함하고, 상기 보조부재의 열팽창률은, 상기 베이스 부재의 열팽창률과 달라, 상기 노광 광에 의해 발생하는 열에 의해 상기 셔터 블레이드에 휘어짐이 주어진다.

대표청구항

노광 광의 광로를 셔터 블레이드에 의해 개폐하는 셔터장치로서,상기 셔터 블레이드는, 노광 광이 입사하는 제1 면과 상기 제1 면의 반대측의 제2 면을 갖는 베이스 부재와, 상기 제2 면에 결합된 보조부재를 포함하고,상기 보조부재의 열팽창률은, 상기 베이스 부재의 열팽창률과 달라, 상기 노광 광에 의해 발생하는 열에 의해 상기 셔터 블레이드에 휘어짐이 주어지는 것을 특징으로 하는 셔터장치.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 광 조사 장치의 셔터 기구 | 우에노다카나오

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