[특허]투명 정전척

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 B23Q-003/15 H01L-021/687 H02N-013/00
출원번호	10-2020-0065049 (2020-05-29)
공개번호	10-2021-0147600 (2021-12-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200065049
발명자 / 주소	이호영 / 경기도 오산시 세마문학로 , 동 *호 (지곶동, 세교 e-편한세상아파트) 김영곤 / 경기도 화성시 동탄순환대로길 , 동 **호 (청계동, 동탄역 롯데캐슬알바트로스)
출원인 / 주소	주식회사 이에스티 / 경기도 오산시 가장산업서북로 *-,이에스티공장(지곶동)
대리인 / 주소	조영환
심사청구여부	있음 (2020-05-29)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

가시광선의 투과가 가능한 투명 정전척이 소개된다. 정전척은 절연층에서 입사된 빛이 정전척을 투과하여 기판 지지면으로 방출될 수 있도록 구성된다. 전극층을 포함하여 전극층 상부의 유전층 및 전극 하부의 절연층 모두 투명하다. 절연층으로부터 유전층까지 총 가시광선 투과율이 60% 이상이다.

대표청구항

기판 흡착을 위한 투명 전극층;상기 전극층 상부의 투명 유전층, 이 유전층은 기판 지지면을 가짐; 및상기 전극층 하부의 투명 절연층을 포함하며,상기 절연층으로부터 유전층까지 총 가시광선 투과율이 60% 이상인 것을 특징으로 하는 투명 정전척.

이 특허에 인용된 특허 (3)

[한국] 정전 척 및 정전 흡착 장치 | 배민호, 김병무, 김윤수, 윤태호
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[일본] ELECTROSTATIC CHUCK AND APPARATUS FOR MANUFACTURING BONDED SUBSTRATE USING IT | TSUDA TAKUMA, UCHIMURA KENJI, KITABAYASHI TETSUO
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[일본] ELECTROSTATIC CHUCK, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND ATTRACTION METHOD OF GLASS SUBSTRATE | OGURA TOMOYUKI, MIYATA NOBORU
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

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[특허] 내스크래치성이 향상된 정전척

저작권 관리 안내

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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