다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2020-0067342 (2020-06-03) | |
| 공개번호 | 10-2021-0150234 (2021-12-10) | |
| 등록번호 | 10-2359376-0000 (2022-01-28) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200067342 | |
| 발명자 / 주소 |
|
|
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2020-06-03) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
기판의 열처리 오븐에 관하여 개시한다. 본 발명은, 기판을 챔버 안에 마련된 공간에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어를, 후면부에는 적어도 하나의 셔터를 구비하는 열처리 오븐; 상기 도어의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트; 상기 베어링 샤프트를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙을 구비하고, 상기 도어의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 상기 도어의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드; 및 상기 도어의 측면과 결합되는 가동 실린더를 구비하여 상기 도
기판을 챔버 안에 마련된 공간에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 전면부에는 적어도 하나의 도어를, 후면부에는 적어도 하나의 셔터를 구비하는 기판의 열처리 오븐에 있어서,상기 도어의 양측편 수평 방향으로 돌출된 베어링 샤프트; 상기 베어링 샤프트를 축 결합으로 유도하는 상하 이동 트랙을 구비하고, 상기 도어의 이동을 상하 이동으로 안내하기 위해 상기 도어의 양측편에 수직 방향으로 설치된 상하 이동 가이드; 및 상기 도어의 측면과 결합되는 가동 실린더를 구비하여 상기 도어를 상기 상하 이동 트랙을 따라 상하
해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.