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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0068506 (2020-06-05) | |
등록번호 | 10-2202285-0000 (2021-01-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200068506 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 알칼리제 첨가 없이 보론과 같은 약이온종의 제거성능이 향상된 초순수를 제조할 수 있는 전기탈이온장치 및 이를 포함하는 초순수 제조 시스템에 관한 것이다.
양극; 음극; 양극과 음극 사이에 위치하며, 서로 교번 배열되는 양이온 교환막과 음이온 교환막; 및 양이온 교환막과 음이온 교환막 사이에 위치하며, 내부에 이온교환수지가 충진되는 스페이서를 포함하며,상기 스페이서는, 희석수 스페이서와 농축수 스페이서가 서로 교번 배열되되, 희석수 스페이서의 평균 두께는, 9 내지 15 mm 범위이며, 농축수 스페이서의 평균 두께는, 1 내지 5 mm 범위이며, 상기 희석수 스페이서의 평균 두께(D1)와 농축수 스페이서의 평균 두께(D2)의 비율(D1:D2)은 2.5~7 : 1 범위이고,상기 희석수
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