[특허]셀 구조로 이루어진 유로를 갖는 열전달 구조와, 이 열전달 구조를 포함하는 웨이퍼 척과, 이 열전달 구조의 제조 방법, 및 최적 설계 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/687 H01L-021/67
출원번호	10-2020-0070800 (2020-06-11)
공개번호	10-2021-0154286 (2021-12-21)
등록번호	10-2354527-0000 (2022-01-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200070800
발명자 / 주소	이재욱 / 대구광역시 달서구 조암남로 *, 동 *호 (유천동, 대구월배아이파크) 장진석 / 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노상업로 , *동 호(제일풍경채더퍼스트) 성지현 / 대구광역시 수성구 동대구로길 동 호 (범어동,유림노르웨이숲) 김다혜 / 경기도 구리시 장자대로번길 * 상록아파트 *동 호 (수택동) 강지헌 / 대구광역시 달성군 현풍읍 국가산단대로길 *동 호(국가산단 서한이다음 아파트) 양민석 / 대구광역시 달성군 유가읍 테크노순환로 ** 한국생산기술연구원 대경지역본부 김지욱 / 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노북로길 , 동 *호 (대구테크노폴리스엘에이치천년나무단지)
출원인 / 주소	한국생산기술연구원 / 충청남도 천안시 서북구 입장면 양대기로길 **
대리인 / 주소	차형석
심사청구여부	있음 (2020-06-11)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

본 발명에 따른 열전달 구조는 유로가 셀 구조로 이루어지고 이 셀 구조를 이루는 프레임과 제1,2 부분 사이에 전도에 의한 열교환이 이루어지고 셀 구조를 통과하는 유체의 난류가 증가하기 때문에 제1,2 부분의 온도 편차가 작아지고 제1,2 부분의 온도를 신속하게 조절할 수 있다는 장점을 갖는다. 아울러, 본 발명은 이러한 열전달 구조를 포함하는 웨이퍼 척과, 이 열전달 구조를 제조하는 방법 및, 등가의 열 유동 회로(ETFC)를 이용한 최적 열전달 구조설계 방법도 제공한다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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[한국특허] 셀 구조로 이루어진 유로를 갖는 열전달 구조와, 이 열전달 구조를 포함하는 웨이퍼 척과, 이 열전달 구조의 제조 방법, 및 최적 설계 방법 원문보기

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