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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0070800 (2020-06-11) | |
공개번호 | 10-2021-0154286 (2021-12-21) | |
등록번호 | 10-2354527-0000 (2022-01-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200070800 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 열전달 구조는 유로가 셀 구조로 이루어지고 이 셀 구조를 이루는 프레임과 제1,2 부분 사이에 전도에 의한 열교환이 이루어지고 셀 구조를 통과하는 유체의 난류가 증가하기 때문에 제1,2 부분의 온도 편차가 작아지고 제1,2 부분의 온도를 신속하게 조절할 수 있다는 장점을 갖는다. 아울러, 본 발명은 이러한 열전달 구조를 포함하는 웨이퍼 척과, 이 열전달 구조를 제조하는 방법 및, 등가의 열 유동 회로(ETFC)를 이용한 최적 열전달 구조설계 방법도 제공한다.
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