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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2020-0093713 (2020-07-28) | |
| 등록번호 | 10-2355140-0000 (2022-01-20) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020200093713 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2020-07-28) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법 및 장치가 제시된다.일 실시예에 따른 3차원 광회절 단층촬영 장치를 이용한 저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법은, 복수 개의 패턴을 이용하여 시편에 광원을 입사하는 단계; 이미지 측정부에서 상기 시편의 다른 깊이(depth) 위치 상에서 다른 위치를 측정하도록 구성되어, 상기 시편의 2차원 영상을 측정하는 단계; 및 서로 다른 상기 패턴과 서로 다른 상기 깊이(depth) 위치에서 측정한 상기 2차원 영상을 바탕으로 상기 시편의
3차원 광회절 단층촬영 장치를 이용한 저간섭성 광원과 다중 패턴 조명을 이용한 3차원 광회절 단층촬영 방법에 있어서, 복수 개의 패턴을 이용하여 시편에 광원을 입사하는 단계; 이미지 측정부에서 상기 시편의 다른 깊이(depth) 위치 상에서 다른 위치를 측정하도록 구성되어, 상기 시편의 2차원 영상을 측정하는 단계; 및 서로 다른 상기 패턴과 서로 다른 상기 깊이(depth) 위치에서 측정한 상기 2차원 영상을 바탕으로 상기 시편의 3차원 굴절률 정보를 복원하는 단계를 포함하고, 상기 복수 개의 패턴을 이용하여 시편에 광원을 입사하
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