[특허]전하 포획층을 가지는 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법

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[한국특허] 전하 포획층을 가지는 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법
CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER WITH CHARGE TRAPPING LAYER AND METHOD OF FABRICATING THEREOF 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	B06B-001/02 H04R-019/00
출원번호	10-2020-0098484 (2020-08-06)
등록번호	10-2253210-0000 (2021-05-12)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020200098484
발명자 / 주소	이현주 / 대전광역시 유성구 대학로 *(구성동) 이성우 / 대전광역시 유성구 대학로 (구성동) 윤성원 / 대전광역시 유성구 대학로 **(구성동)
출원인 / 주소	한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2020-08-06)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록

전하 포획층을 가지는 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 이의 제조 방법이 개시된다.일 실시예에 따른 초음파 트랜스듀서는, 기판과, 상기 기판 위에 형성된 산화막과, 상기 산화막의 일부가 식각된 영역에 형성되는 공극과, 상기 산화막의 상부에 적층되어 상기 공극을 덮는 멤브레인과, 상기 식각된 영역에 적층되는 전하 포획층을 포함하고, 상기 전하 포획층은, 일부는 상기 공극의 내부에 삽입되고 다른 일부는 상기 공극의 외부로 연장되는 전극층을 포함한다.

대표청구항

기판;상기 기판 위에 형성된 산화막;상기 산화막의 일부가 식각된 영역에 형성되는 공극;상기 산화막의 상부에 적층되어 상기 공극을 덮는 멤브레인;상기 식각된 영역에 적층되는 전하 포획층을 포함하고,상기 전하 포획층은,일부는 상기 공극의 내부에 삽입되고, 다른 일부는 상기 공극의 외부로 연장되어 상기 멤브레인에 덮이지 않아 상부가 개방되는 전극층을 포함하고,상기 공극은,상기 전극층 및 상기 멤브레인 위에 증착된 공극 밀폐 물질을 통해 고진공 상태로 밀폐하는, 초음파 트랜스듀서.

이 특허에 인용된 특허 (2) 인용/피인용 타임라인 분석

[일본] ULTRASONIC DIAGNOSIS PROBE APPARATUS | ADACHI HIDEO, SAWADA YUKIHIKO, IMAHASHI TAKUYA, MIZUNUMA AKIKO, KAWASHIMA TOMONAO, MISONO KAZUHIRO, SHIMODA NAOMI
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[미국] ULTRASONOGRAPHIC DEVICE | Azuma, Takashi, Umemura, Shinichiro, Nagata, Tatsuya, Fukuda, Hiroshi, Machida, Shuntaro, Mine, Toshiyuki
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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