초록 ▼

본 발명은 롤투롤 플라즈마 세정설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압연박 FCCL{Flexible Copper Clad Laminate}을 저온에서 플라즈마 세정이 가능하도록 한 압연박 FCCL용 롤투롤 플라즈마 세정설비에 관한 것이다.본 발명의 압연박 FCCL용 롤투롤 플라즈마 세정설비는, 진공챔버와, 기판을 이송하기 위한 기판이송부와, 상기 이송되는 기판을 플라즈마 세정처리하기 위한 전극어셈블리와, 상기 전극에 가스를 공급하기 위한 가스주입구 및 상기 플라즈마 세정처리된 반응가스를 배출하기 위한 가스배기구가 구비되어 있는 롤투

본 발명은 롤투롤 플라즈마 세정설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압연박 FCCL{Flexible Copper Clad Laminate}을 저온에서 플라즈마 세정이 가능하도록 한 압연박 FCCL용 롤투롤 플라즈마 세정설비에 관한 것이다.본 발명의 압연박 FCCL용 롤투롤 플라즈마 세정설비는, 진공챔버와, 기판을 이송하기 위한 기판이송부와, 상기 이송되는 기판을 플라즈마 세정처리하기 위한 전극어셈블리와, 상기 전극에 가스를 공급하기 위한 가스주입구 및 상기 플라즈마 세정처리된 반응가스를 배출하기 위한 가스배기구가 구비되어 있는 롤투롤 플라즈마 세정설비에 있어서, 상기 기판이송부는 기판을 공급하는 공급롤, 기판을 안내하는 안내롤, 기판을 지지하면서 냉각시키도록 된 쿨링드럼, 기판을 권취하는 권취롤로 구성되며, 상기 전극어셈블리는 라운드형 전극이며, 상기 가스주입구는 상기 라운드형 전극 상부로 가스가 고루 분사되도록 된 라운드형 샤워헤드와 연결되어 있으며, 상기 가스배기구는 반응가스가 균등하게 배기되도록 상부에 긴 구멍이 형성되고 이 구멍을 개폐하기 위한 덮개가 구비된 슬롯 방식의 배기구와 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

진공챔버와, 기판을 이송하기 위한 기판이송부와, 상기 이송되는 기판을 플라즈마 세정처리하기 위한 전극어셈블리와, 상기 전극에 가스를 공급하기 위한 가스주입구 및 상기 플라즈마 세정처리된 반응가스를 배출하기 위한 가스배기구가 구비되어 있는 롤투롤 플라즈마 세정설비에 있어서, 상기 기판이송부는 기판을 공급하는 공급롤, 기판을 안내하는 안래롤, 기판을 지지하면서 냉각시키도록 된 쿨링드럼, 기판을 권취하는 권취롤로 구성하되, 상기 쿨링드럼은 쿨링드럼을 구동하기 위한 구동모터 및 쿨링드럼 내부로 냉각수를 공급 및 배수하도록 된 로터리 조인트

진공챔버와, 기판을 이송하기 위한 기판이송부와, 상기 이송되는 기판을 플라즈마 세정처리하기 위한 전극어셈블리와, 상기 전극에 가스를 공급하기 위한 가스주입구 및 상기 플라즈마 세정처리된 반응가스를 배출하기 위한 가스배기구가 구비되어 있는 롤투롤 플라즈마 세정설비에 있어서, 상기 기판이송부는 기판을 공급하는 공급롤, 기판을 안내하는 안래롤, 기판을 지지하면서 냉각시키도록 된 쿨링드럼, 기판을 권취하는 권취롤로 구성하되, 상기 쿨링드럼은 쿨링드럼을 구동하기 위한 구동모터 및 쿨링드럼 내부로 냉각수를 공급 및 배수하도록 된 로터리 조인트를 구비하며,상기 전극어셈블리는 라운드형 전극이며,상기 가스주입구는 상기 라운드형 전극 상부로 가스가 고루 분사되도록 된 라운드형 샤워헤드와 연결되어 있으며,상기 가스배기구는 반응가스가 균등하게 배기되도록 상부에 긴 구멍이 형성되고 이 구멍을 개폐하기 위한 덮개가 구비된 슬롯 방식의 배기구와 연결되어 있되, 상기 긴 구멍은 외부의 배기펌프와 가까운 쪽은 폭이 좁게, 먼 쪽은 넓게 형성되어 있고, 상기 덮개는 수동 또는 자동으로 작동되는 것을 특징으로 하는 압연박 FCCL용 롤투롤 플라즈마 세정설비