초록

개시된 가스 센서는, 기판 위에 배치된 제1 전극, 상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극 및 감응 부재를 포함한다. 상기 감응 부재는 상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하며 가스 감응 물질을 포함하는 쉘들의 3차원 배열에 의한 다공성 구조를 갖는다. 상기 감응 부재의 두께는 5 내지 10㎛이고, 상기 쉘의 두께는 10 내지 40nm이다.

대표청구항

기판 위에 배치된 제1 전극;상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극; 및상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하며 가스 감응 물질로서 금속 산화물 반도체를 포함하는 감응 부재를 포함하고,상기 감응 부재는, 주기적으로 정렬되며 서로 연결된 기공들을 정의하는 3차원 네트워크 형태의 나노 쉘 구조를 가지며,상기 감응 부재의 두께는 5 내지 10㎛이고, 상기 나노 쉘 구조의 쉘의 두께는 10 내지 40nm인 것을 특징으로 하는 광활성 가스 센서.

기판 위에 배치된 제1 전극;상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극; 및상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하며 가스 감응 물질로서 금속 산화물 반도체를 포함하는 감응 부재를 포함하고,상기 감응 부재는, 주기적으로 정렬되며 서로 연결된 기공들을 정의하는 3차원 네트워크 형태의 나노 쉘 구조를 가지며,상기 감응 부재의 두께는 5 내지 10㎛이고, 상기 나노 쉘 구조의 쉘의 두께는 10 내지 40nm인 것을 특징으로 하는 광활성 가스 센서.