초록

다중경로 가스 셀이 제시된다.일 실시예에 따른 다중경로 가스 셀은, 가스 셀의 하우징 내에 서로 대향되게 배치되어, 복수개의 미러를 통해 입사되는 빔을 지그재그 형태로 다중 반사시키는 한 쌍의 미러 세트를 포함하고, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열은, 상기 빔의 다중 반사를 형성하는 평면 미러; 및 상기 빔의 방향을 변경하는 방향 전환 미러를 포함하며, 상기 입사되는 빔이 상기 평면 미러 및 상기 방향 전환 미러를 적어도 한 번 이상 반사되도록 하여 반사 횟수를 증대시킴에 따라 빔의 진행 거리를 확대할 수 있다.

대표청구항 ▼

가스 셀의 하우징 내에 서로 대향되게 배치되어, 복수개의 미러를 통해 입사되는 빔을 지그재그 형태로 다중 반사시키는 한 쌍의 미러 세트를 포함하고, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열은, 상기 빔의 다중 반사를 형성하는 평면 미러; 및 상기 빔의 방향을 변경하는 방향 전환 미러를 포함하며, 상기 입사되는 빔이 상기 평면 미러 및 상기 방향 전환 미러를 적어도 한 번 이상 반사되도록 하여 반사 횟수를 증대시킴에 따라 빔의 진행 거리를 확대하고, 상기 평면 미러는, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열의 가운데 부분에 배치되어 상기 빔을 지

가스 셀의 하우징 내에 서로 대향되게 배치되어, 복수개의 미러를 통해 입사되는 빔을 지그재그 형태로 다중 반사시키는 한 쌍의 미러 세트를 포함하고, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열은, 상기 빔의 다중 반사를 형성하는 평면 미러; 및 상기 빔의 방향을 변경하는 방향 전환 미러를 포함하며, 상기 입사되는 빔이 상기 평면 미러 및 상기 방향 전환 미러를 적어도 한 번 이상 반사되도록 하여 반사 횟수를 증대시킴에 따라 빔의 진행 거리를 확대하고, 상기 평면 미러는, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열의 가운데 부분에 배치되어 상기 빔을 지그재그 형태로 다중 반사시키며, 상기 방향 전환 미러는, 상기 한 쌍의 미러 세트의 각 열의 상측 및 하측에 각각 두 개씩 배치되어 두 개의 빔 경로의 상기 빔의 방향을 전환시키고, THz 빔의 제한적인 분산으로 원거리까지 전파하기 위해 상기 방향 전환 미러는 구면 미러(spherical mirror)로 이루어져 빔 경로의 길이가 확대됨에 따라 빔 폭이 증가되는 것을 방지하며, 상기 한 쌍의 미러 세트는, 적어도 둘 이상의 빔 경로를 가지며, 상기 입사되는 빔이 하측 또는 상측에서 상측 또는 하측으로 지그재그 형태로 반사된 후 다시 상측 또는 하측에서 하측 또는 상측으로 지그재그 형태로 반사되는 제1 빔 경로; 및 상기 제1 빔 경로를 따라 이동한 빔이 하측 또는 상측에서 상측 또는 하측으로 지그재그 형태로 반사된 후 다시 상측 또는 하측에서 하측 또는 상측으로 지그재그 형태로 반사되는 제2 빔 경로를 포함하고, 상기 한 쌍의 미러 세트는, 상기 입사되는 빔이 상기 제1 빔 경로를 따라 소정 각도로 반사되도록 상기 평면 미러 및 상기 방향 전환 미러를 구성하고, 다시 상기 제2 빔 경로를 따라 상기 제1 빔 경로의 각도의 두 배의 크기의 다른 각도로 반복하여 반사되도록 상기 평면 미러 및 상기 방향 전환 미러를 구성하여, 빔의 반사 횟수를 증대시키며, 상기 한 쌍의 미러 세트는, 상기 하우징 내에 적어도 둘 이상의 세트로 구성되어, 상기 입사되는 빔이 상기 한 쌍의 미러 세트를 상하 방향으로 다중 반사한 후, 다른 한 쌍의 미러 세트로 이동하여 상하 방향으로 다중 반사하도록 하고, 다중경로 가스 셀은 THz-TDS(THz time-domain spectroscopy) 시스템에서 소정 거리 이상 떨어져 위치하며, 상기 THz-TDS 시스템에서 상기 다중경로 가스 셀로 THz 빔을 입사 후 나오는 빔을 수신하여 가스 감지를 수행하고, 상기 다중경로 가스 셀은 특정 길이 이상으로 THz 빔, 광학 빔 및 마이크로파 빔 중 적어도 어느 하나 이상의 전자기파 빔 경로의 거리를 확장시켜 대기압, 고압 및 진공 환경의 아산화질소(N2O) 또는 수증기(water vapor) 가스의 흡광도(absorbance) 및 흡수계수(absorption coefficient)와 전파감쇄(attenuation)를 측정하는 것을 특징으로 하는, 다중경로 가스 셀.